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三氟碘甲烷

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产品详情

三氟碘甲烷,又称三氟甲基碘,分子式为CF3I,分子量为195.91。三氟碘甲烷为无色无味气体,无毒、阻燃、油溶性和材料相容性好,是传统氟利昂制冷剂的替代品之一,具有灭火效率高,安全性能好,经济效益高等特点。三氟碘甲烷作为半导体刻蚀气体,与同种刻蚀气体CF4、C4F6相比,蚀刻时具有更高的选择性和高深宽比。

 

产品指标

项目Items

单位Units

指标Index

纯度Purity≥

Vol. %

99.9

(氧+氩) 0xygen+ Argon (<02+Ar) ≤

Vol. ppm

300

一氧化碳Carbon monoxide (CO) ≤

Vol. ppm

200

氮气Nitrogen (N2)≤

Vo1. ppm

200

二氧化碳Carbon dioxide (C02)≤

Vol. ppm

200

六氟乙烷Hexafluoroethane (C2F6)≤

Vo1. ppm

50

八氟丙烷Octafluopropane (C3F8)≤

Vol. ppm

50



产品用途:

三氟碘甲烷可用作半导体刻蚀气体、电气设备绝缘与灭弧气体、灭火剂、制冷剂等。此外,三氟碘甲烷还能与有机金属试剂作用,是有机合成中引入氟代甲基的重要含氟中间体,可广泛应用于有机合成、生物化学、农药、医药、表面活性剂和染料等领域。        

包装、贮存:

三氟碘甲烷充装在钢质无缝气瓶中,钢瓶容积分别为10L、47L、400 L,具体包装规格可根据用户需求定制更改。三氟碘甲烷储存干阴凉、干燥、通风良好的库房,远离火种、热源。库温不宜超过30℃,储区应备有泄漏应急处理设备。

 


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