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六氟化钼 CAS#: 7783-77-9

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产品详情

六氟化钼（MoF6），相对分子量为209.93，熔点为17.5℃，沸点为35℃，低温下为白色块状结晶，对湿空气敏感。在强氧化剂存在下，六氟化钼能侵蚀许多金属（金、铂除外），使金属表面变为蓝色。六氟化钼可用于钼的同位素分离，在电子工业中用作化学气相淀积硅化钼或钼，以制作低电阻、高熔点的互连线和栅极。

产品指标

氮气Nitrogen (N2)≤	Vol.ppm	50	1	0.5
(氧+氩) Oxygen+ Argon. (O2+Ar)≤	Vol.ppm	50	0.5	0.5
二氧化碳Carbon dioxide (CO2) ≤	Vol.ppm	-	0.5	0.5
一氧化碳Carbon monoxide (CO)≤	Vol.ppm	-	0.5	0.5
六氟化硫Sulfur hexafluoride (SF6) ≤	Vol,ppm	10	0.5	0.5
四氟化硅Silicon tetrafluoride (SiF4) ≤	Vol.ppm	10	0.5	0.5
氟化氢Hydrogen fluoride (HF) s	Vol.ppm	800	1	1

产品用途：

六氟化钼的主要应用领域是在微电子工业中用化学气相沉积硅化钼或钼，以制作低电阻、高熔点的互连线，也可用作强氟化剂、成膜材料及离子掺杂剂，还可用于钼同位素分离。

包装、贮存：

六氟化钼充装在钢质无缝气瓶中，钢瓶容积分别为8L和47L，具体包装规格可根据用户需求定制更改。六氟化钼储存干阴凉、干燥、通风良好的库房中，远离火种、热源。储区应备有泄漏应急处理设备。

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