产品详情
基本信息:
产品名称:八氟丙烷
化学式:C₃F₈
别名:全氟丙烷
CAS:76-19-7
海关编码:29033990
分子量:188.02
Einecs:200-941-9
结构式:
简述:
八氟丙烷是一种全氟代丙烷,常温下为无色、无味、不可燃的气体,化学性质极为稳定。主要用于半导体蚀刻、医疗眼用气体和高压绝缘领域。
技术指标:
分析项目 | 结果 |
外观 | 无色气体 |
密度 | 相对密度(空气=1)6.6 |
蒸气压 | 792 kPa(21.1℃) |
纯度(%) | ≥99.99%(电子级) |
用途:
1. 半导体工业(等离子蚀刻):八氟丙烷与氧气混合后用于介质蚀刻工艺,尤其是氧化物蚀刻(如SiO₂),相比全氟乙烷可提供更高的蚀刻速率和选择性。典型应用:3D NAND闪存制造中的高深宽比接触孔蚀刻。
2. 眼科医疗(玻璃体填充气体):作为玻璃体切割术后的填充气体,利用其膨胀特性和低水溶性,长时间支撑视网膜并促进复位。常用于复杂性视网膜脱离的治疗。
3. 高压电气绝缘:因其高介电强度和环保特性(全球变暖潜能值较低),用于中压气体绝缘开关设备(GIS)中替代六氟化硫。
4. 低温制冷:作为低温制冷工质,用于超导磁体冷却和医疗磁共振成像(MRI)系统的低温回路。
贮存条件:
1. 储存于阴凉、通风处。库温不宜超过37°C。
2. 保持容器密封。应与氧化剂、易燃物分开存放,切忌混储。
3. 钢质气瓶应存放于避光、防潮、防晒处;库房须安装避雷设备。
4. 排风系统应设有导除静电的接地装置。
5. 储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。
包装:
1. 钢质气瓶,且须戴好钢瓶上的安全帽。
2. 根据客户需求,进行其它形式的包装。
化学性质:
常温下化学性质极为稳定,不与强酸、强碱、氧化剂反应。高温下(>300℃)遇明火可能分解产生氟化氢。临界温度71.9℃,临界压力2.68 MPa,沸点-36.7℃,微溶于水。不可燃,惰性气体储存需避免高压下接触油脂。
厂房环境