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八氟丙烷

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产品详情

基本信息:

产品名称:八氟丙烷

化学式:C₃F₈

别名:全氟丙烷

CAS76-19-7

海关编码:29033990

分子量:188.02

Einecs200-941-9

结构式:

image 

简述:

八氟丙烷是一种全氟代丙烷,常温下为无色、无味、不可燃的气体,化学性质极为稳定。主要用于半导体蚀刻、医疗眼用气体和高压绝缘领域。

技术指标:

分析项目

结果

外观

无色气体

密度

相对密度(空气=16.6

蒸气压

792 kPa21.1℃

纯度(%

≥99.99%(电子级)

用途:

1. 半导体工业(等离子蚀刻):八氟丙烷与氧气混合后用于介质蚀刻工艺,尤其是氧化物蚀刻(如SiO₂),相比全氟乙烷可提供更高的蚀刻速率和选择性。典型应用:3D NAND闪存制造中的高深宽比接触孔蚀刻。

2. 眼科医疗(玻璃体填充气体):作为玻璃体切割术后的填充气体,利用其膨胀特性和低水溶性,长时间支撑视网膜并促进复位。常用于复杂性视网膜脱离的治疗。

3. 高压电气绝缘:因其高介电强度和环保特性(全球变暖潜能值较低),用于中压气体绝缘开关设备(GIS)中替代六氟化硫。

4. 低温制冷:作为低温制冷工质,用于超导磁体冷却和医疗磁共振成像(MRI)系统的低温回路。

贮存条件:

1. 储存于阴凉、通风。库温不宜超过37°C

2. 保持容器密封。应与氧化剂、易燃物分开存放,切忌混储。

3. 钢质气瓶应存放于避光、防潮、防晒处;库房须安装避雷设备。

4. 排风系统应设有导除静电的接地装置。

5. 储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。

包装:

1. 钢质气瓶,且须戴好钢瓶上的安全帽。

2. 根据客户需求,进行其它形式的包装。

 

化学性质:

常温下化学性质极为稳定,不与强酸、强碱、氧化剂反应。高温下(>300℃)遇明火可能分解产生氟化氢。临界温度71.9℃,临界压力2.68 MPa,沸点-36.7℃,微溶于水。不可燃,惰性气体储存需避免高压下接触油脂。 


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