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特种稀有气体（含氟）气体

三氟化磷（PF3）

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三氟化磷（PF3）



化学式

PF3

中文名称

三氟化磷

英文名称

Phosphorus  Trifluoride

CAS No.

7783-55-3

分子量

87.969

充装量


应用

发生气体、氟化剂、外延、离子注入。作为气态磷离子注入源。

三氟化磷是一种无机化合物，其化学式为PF3，在常温常压下为无色无味的有毒气体，液态时为无色透明液体，空气中不太发烟，相当稳定，加热时与氢反应生成PH3，能与水反应生成亚磷酸和氟化氢。碱中也能分解。可溶于乙醇。除在高温外，不腐蚀玻璃。


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