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特种稀有气体(含氟)气体

液氧

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产品详情

产品名 : 氧气

CAS : 7782-44-7

英文名 Oxygen

液氧 - 用途

高纯氧气体主要用于半导体器件的热氧化、扩散、化学气相沉积及等离子蚀刻等工艺,还可用于光导纤维、彩色显像管制造并作标准气、校正气和零点气等。作为氧化源与产生高纯水的反应剂。对于MOS场效应器件,氧化层必须相当致密,采用高纯氧气进行干法氧化,其氧化层结构致密,正电荷少,耐压高,能满足生产需要。与四氟化碳混合,可用于等离子刻蚀。

液氧 - 安全性

助燃压缩气体,无毒。但暴露在高浓氧中,对肺和中枢神经有不良影响。所有可燃物质、特别是油和油脂,不得与高浓度氧接触。对所有可能的着火源,都必须加以封闭或撤离。置于阴凉处,严禁与酸、碱、油脂、易燃易爆物品及高温热源、电火花接近,并避免撞击。


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